Pirani

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Das Pirani Manometer ist ein Messgerät zur Druckmessung im Grob- und Feinvakuumbereich (30mbar to 10-3mbar). Die Druckmessung beruht auf der druckabhängigen der Wärmeleitfähigkeit von Gasen.

Das Pirani Manometer misst den elektrischen Widerstand eines beheizten Drahtes im Vakuumsystem. Der elektrische Widerstand ist proportional zur Temperatur des Drahtes und die Drahttemperatur ist umgekehrt proportional zum Druck. Wenn Gasmoleküle mit dem geheizten Draht kollidieren nehmen sie Energie auf. Diese Energie wird dem Draht entzogen und kühlt ihn ab. Bei geringerem Druck kollidieren entsprechend weniger Gasmoleküle mit dem Draht, er wird entsprechend weniger gekühlt und sein Widerstand steigt.